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微纳光学实验室

目前已拥有的主要设备:德国suss公司的MJB3光刻机、日本Kimmon公司的IK3501R-GHe-Cd气体激光器、法国HORIBA Jobin Yvon公司的FL3-22荧光光谱仪、XeF2氟化氙刻蚀机、Lambda 950紫外可见近红外光度计(48.9万元)、Nicolet IS50型傅立叶红外光谱仪、CSLMS-1020LED综合测试系统、德国suss LabSpin6型涂胶机、以及其他配套的制备和测试仪器等。

 

FL3-22荧光光谱仪

 

suss公司的MJB3光刻机

 

自主搭建的无掩膜激光干涉光刻系统

 

CSLMS-1020LED综合测试系统

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